产品详情
设备型号:PF GMS300、GMS400、GMS600、GMS1200、GMS1600、GMS2000、GMS2400等
测量范围:300*400*200、400*500*200、600*800*200、1200*1000*200、1600*1200*200、2000*1400*200、2400*1600*200
XY精度:E2=(1.5+L/150)um
XY速度:600mm/s
XY最大加速度:3000mm/s^2
根据需求搭配测量模组
1.复合式测量模组:4K影像+点光谱
2.快速测量模组:大视野测量+点光谱
3.扫描测量模组:点光谱、线光谱、线激光、白光干涉传感器、三维扫描传感器等

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