动力博石 | 浅谈金相显微镜、生物显微镜和扫描电子显微镜


发布时间:

2023-09-22

动力博石 | 浅谈金相显微镜、生物显微镜和扫描电子显微镜
金相显微镜(metallurgical microscope)是用入射照明采用反射光成像来观察金属试样表面(金相组织)的显微镜,它是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术完美地结合在一起而开发研制成的高科技产品,可以在计算机上很方便地观察金相图像,从而对金相图谱进行分析,评级等以及对图片进行输出、打印。金相显微镜是光学显微镜的一种,分辨率相对电镜小,微米级分辨率,放大倍数从几倍到几百倍,但它易于操作、视场较大、价格相对低廉。金相显微镜在工业测量里面,精度大于影像测量仪。
生物显微镜是利用光学原理光折射/透射)通过一组透镜放大目标物体,分析生物切片、生物细胞、细菌等微生物,如活组织,针对的是透明或者半透明物。生物显微镜的放大倍数一般做到2000倍左右,工作距离小,景深小。广泛应用于细胞学、寄生虫学、肿瘤学、免疫学、基因工程、工业微生物学、植物学等领域。
扫描电子显微镜Scanning Electron MicroscopeSEM)于1965年左右发明,其利用二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、成分、元素分析等特征,是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。

扫描电镜可配备X射线能谱仪(EDS)、X射线波谱仪(WDS)和电子背散射衍射(EBSD)等附件,使分析显微组织、织构、取向差和微区成分同时进行。还可在样品室内配备加热、拉伸测试等装置,从而对样品进行原位、动态分析。SEM的不足:

  • 分辨率不及TEMAFM(原子力显微镜),不能观察到物质的分子和原子像;
  • 试样需置于真空环境下观察,限制了样品的类型;
  • 只能观察样品表面形貌,表面以下结构不能探测;
  • 没有高度方向信息;
  • 不能观察液体样品。

金相显微镜和扫描电子显微镜,两者存在很大的区别,主要有以下几方面:

  • 光源不同金相显微镜采用可见光作为光源,常用钨丝灯、卤素灯、钠灯等,扫描电镜采用电子束作为光源成像。
  • 原理不同金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像﹐扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
  • 分辨率金相显微镜因为光的干涉与衍射作用﹐分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到 1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。
  • 景深一般金相显微镜的景深在2-3μm 之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则可高达几个mm
  • 倍率:扫描电子显微镜可以从几倍到几万倍的连续可调
  • 配置:扫描电子显微镜可配备 X射线能谱仪EDSX射线波谱仪WDS、电子背散射衍射仪EBSD,价格高昂。
随着工业的发展,金相显微镜已广泛地应用于电子、化工和仪器仪表行业,用来观察不透明物质的表面现象进行研究分析等工作;芯片、印刷电路板、液晶板、线材、纤维、镀涂层以及其它非金属材料等,对一些表面状况进行研究分析等工作。金相显微镜观察金属组织的金相成分分布等,可得出产品的某些性能,如机械性能、产品生产中的缺陷,从而为生产提供建议,改进某些工艺流程。

图片转载自:知乎@仪器共创未来

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